اندازه گیری فرم سطح ساچمه توسط میکروسکوپ تداخلی

یک دستگاه میکروسکوپ تداخلی با آبجکتیو میرائو طراحی و ساخته شده و از آن برای اندازه گیری مشخصات فرم و زبری ساچمه استفاده شده است. این دستگاه پنجره 232×232 میکرون از سطح ساچمه با دقت 1 میکرون در ابعاد جانبی و دقت 2 نانومتر در ارتفاع اندازه گیری را اندازه گیری کند. برای بازیابی فاز از روش کمترین مربعات استفاده شده و قطر ساچمه، کرهای با شعاع انحنای 2452 میکرون محاسبه شده است. ساچمه مورد استفاده 1.1 میکرومتر خروج از فرم کروی داشته است.

کلیدواژه ها:

اندازه گیری سه بعدی ، تداخل سنجی میکروسکوپی ، آبجکتیو میرائو ، واپیچش فاز