معرفی روش رسوب فیزیکی بخار برای ساخت قطعات مدار مجتمع
محل انتشار: فصلنامه کهربا، دوره: 5، شماره: 20
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 627
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_KHRBA-5-20_004
تاریخ نمایه سازی: 30 تیر 1398
چکیده مقاله:
رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روش های کاربردی در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوریها و مخصوصا صنایع الکترونیک و مدارهای مجتمع، به کارگیری این روش های بخار به صورت فراوان در ساخت قطعات نیمه های می باشد. در این گزارش به صورت مختصر به رسوب شیمیایی بخار پرداخته شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان