سنسورهای فشار MEMS پیزوسیلیکونی

از آنجایی که نیاز به اندازه گیری، برای زندگی روزمره نقش بسیارحیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورها و تغییر در رنجاندازه گیری آنها از ماکرو به میکرو نیازمند طراحی و ساخت سنسورهای جدید و یا تغییر ابعاد سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرومیباشد. اخیرا، سنسورفشار (MEMS) به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تاثیرپذیری ازدما، سازگاری مدارمجتمع وغیره مزیت بیشتری را نسبت به سنسور فشار پیزورزیستیو میکروماشینی پیدا کرده است. در بیشتر سنسورهای فشار خازنی ازسیلیکون یا غشایدیافراگم پلی سیلیکونی استفاده می شود. در سیلیکون مونوکریستالین از فرآیند میکروماشینی کردن حجم اصلی استفاده می گردد.دراین مقاله ما ابتدا سنسور فشار با دیافراگم سیلیکونی و اتصال همجوشی سیلیکونی رامعرفی کرده و درادامه به جبرانسازی پسماندسنسور فشار پیزورزیستیوری سیلیکونی پرداخته و آزمایش های ضروری و شرایط کافی برای سنسور فشار سیلیکونی را توضیح می دهیم و درآخر قابلیت اندازه گیری ویژگی های اتوماتیک سنسور فشار MEMS پیزورسیستور سیلیکون راشرح خواهیم داد.

کلیدواژه ها:

مدل عمومی پریساک ، مشخصه پسماند ، سنسور فشار سیلیکونی ، استقراراندازه گیری ، تعیین مشخصات