ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن

تعداد صفحات: 21 | تعداد نمایش خلاصه: 475 | نظرات: 0
سال انتشار: 1395
کد COI مقاله: IRCEM01_233
زبان مقاله: انگلیسی
(فایل این مقاله در 21 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.

با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید.در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.

لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.

برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 21 صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : 7,000 تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن

علیرضا بهادری مهر - مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه مهندسی برق و کامپیوتر، بوئین زهرا، قزوین، ایران
عباس بدری آزاد - گروه مهندسی برق، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد تهران جنوب

چکیده مقاله:

اخیراً، سنسور(حسگر) فشار خازنی MEMS به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تأثیرپذیری از دما،سازگاری مدار مجتمع و غیره، مزیت بیشتری را نسبت به سنسورفشار 1 پیزورزیستیومیکروماشینی بدست آوردهاست. کاربرد سنسورفشار خازنی در حال گسترش است، از این رو، بازبینی مسیر توسعه فنی و آینده سنسورفشارخازنی میکروماشینی ضروری است. در این مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازنی، مواد MEMS به کاررفته در ساخت آن، روشهایی که در ریزساخت سیلیکون و دیافراگم مواد پلیمری پذیرفته شده اند، فناوری هایبسته بندی و اتصال تأکید می شود. نتیجه انتخابی درباره حساسیت خازنی و اثر دما بر حساسیت خازنی نیز نشانداده می شود. در نهایت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث می شود. سنسورفشار خازنی MEMS ، مروری برسنسورفشار، CDPS ، ساخت ممز (MEMS) ، مواد MEMS ، سنسورفشار، MEMS (دستگاه میکروالکترومکانیکی) از موارد مورد بحث ما در این مقاله می باشند.

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/539911/

کد COI مقاله: IRCEM01_233

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
بهادری مهر, علیرضا و بدری آزاد, عباس,1395,سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن,نخستین کنفرانس ملی تحقیقات بین رشته ای در مهندسی کامپیوتر، برق، مکانیک و مکاترونیک,قزوین,,,https://civilica.com/doc/539911

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1395, بهادری مهر, علیرضا؛ عباس بدری آزاد)
برای بار دوم به بعد: (1395, بهادری مهر؛ بدری آزاد)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود ممقالهقاله لینک شده اند :

  • Smoothه [23] Jeahyeong Han, Junghoon Yeom, Junghyun Lee, Mark A. ...
  • W. P. Eaton and J. H. Smith, ، 0Micro machined ...
  • Liwei Lin and Weijie Yun, "MEMS Pressure Sensors for Aerospace ...
  • David s. Eddy and Douglas R, Spark S, "Application of ...
  • William J. Fleming, "Overview of Automotive Sensors", IEEE Sensors Journal, ...
  • Aini hussian, et.al. _ C haracterization of MEMS automotive sensor ...
  • William P. Eaton, James H. Smith, David J. Monk, Gary ...
  • S. Timoshenko and S. Wo inowsky- Krieger, Theory of Plates ...
  • Shih-Chin Gong, :Effects of pressure sensor dimensions on process window ...
  • S. T. Cho, K. Najafi, and K. D. Wise, "Secondary ...
  • Jeahyeong Han and Mark A. Shannon, _ Smooth Contact Capacitive ...
  • Chang Liu, "Foundation of MEMS" second edition, Pearson Education Limited, ...
  • Vance d A. Browne, George E Kochanek, "Capacitance pressure sensor", ...
  • W. P. Eaton, Bevan D, James H smith, "Capacitance pressure ...
  • Keith.W, golker, Thomas E. Hendrikson Charles C, Hung, "High sensitivity ...
  • Novel Electrostatic Servo Capacitive Vacuum Sensor", 1997 A؛" [16] Yuelin ...
  • Fang He, Qing-An Huang, Ming Qin, _ silicon directly bonded ...
  • Hussam Eldin A. Elgamel, "A simple and efficient technique for ...
  • novel capacitive pressure Sensor A:ه [19] Aziz Ettouhami, Noureddine Zahid, ...
  • Abhijeet V. Chavan, and Kensall D Wise, _ atch-Processed Vacuum- ...
  • Wen H. Ko, Qiang Wang, "Touch mode capacitive pressure sensors", ...
  • Qiang Wang, Wen H. Ko, "Modeling of touch mode capacitive ...
  • Wen H. KO, Qiang Wang, "Touch Mode Capacitive Pressure Sensors ...
  • Leslie B Wilner, Polo alto, Calif, "Differential capacitive transducer and ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Simulation Analysis of MEMS Based Capacitive ...
  • DOI: 1 0.4028/www. scientific .net/AMR. 403-408.41 52, 2012. ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Design Analysis of MEMS Capacitive Differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling and Analysis of High Sensitive ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Sensitivity Analysis on MEMS Capacitive Differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling of High sensitive MEMS differential ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Modeling of MEMS Capacitive Differential Pressure ...
  • P. Eswaran, S. Malarvizhi, "Micro capacitive Differential Pressure Sensor Diaphragm ...
  • Zhang.Y, Howver.R, Gogoi.B and Yazdi, _ High-Sensitive Ultra Thin MEMS ...
  • C. Pedersen, S. T. Jesperseny, J. P. Krog, C. Christensen, ...
  • Lamyanba yambem, Murat Kaya yapici, Junzou, _ wireless sensor system ...
  • Po-Jui Chen, IEEE, Damien C. Rodger, Saloomeh Saati, Mark S. ...
  • Duck-Bong Seo, Robin Shandas, " Design And Simulation Of A ...
  • Low-Cot Pressure Sensor for A؛ه [38] Han-Chang Wu, Shuenn-Tsong Young, ...
  • Anton F. P. Van Putten, Michael J. A. M. van ...
  • Kerstin E. Babbitt, Lynn Fuller, Bradley Keller, _ Surface Micro ...
  • Yuelin Wang and M. Esashi, ":A Novel Electrostatic Servo Capacitive ...
  • Adriana Cozma, Robert Puers, "Electrostatic actuation as a self-testing method ...
  • Guchuan Zhu, Lahcen Saydy, Mehran Hosseini, Jean-Fransois Chianetta, and Yves-Alain ...
  • Chuang-Yuan Lee and Eun Sok Kim, _ _ iezoelectrically Actuated ...
  • Altti Torkkeli, Outi Rusanen, Jaakko Saarilahti, Heikki Seppa, Hanu Sipola, ...
  • Jainmin Miao, Rongming Lin, Longqing chen , Quanbo zou, Sin ...
  • J. Bergqvist, F. Rudolf, J. Maisano, F. Parodi, M. Rossi, ...
  • J. Bergqvist and J. Gobet, "Capacitive Microphone with a Surface ...
  • Jian Liu, David T. Martin, Toshikazu Nishida, Louis N. Cattafesta, ...
  • David T. Martin, Jian Liu, Karthik Kadirvel, Robert M. Fox, ...
  • Sazzadur Chowdhury, M. Ahmadi, W. C. Miller, "Nonlinear Effects in ...
  • Chang-Hung Chen, Heng-Chuan Kan, Po-Hua Yang and Wang Yeng-Tseng, "Modeling ...
  • Bahram Azizollah Ganjia, Burhanuddin Yeop Majlis, "Design and fabrication of ...
  • Yoshinori Iguchi, Masahide Goto, Masakazu Iwaki, Akio Andoa, Kenkichi Tanioka, ...
  • batch fabricated silicon capacitive pressure transducer with low A:ه [55] ...
  • Orhan Akbar, Tay fun Akin, Khalil Nijafi, ":A wireless batch ...
  • Gary K. Fedder, "MEMS Fabrication", Proceedings of International Conference on ...
  • Darrin J. Young, Jiangang Du, Christian A. Zorman, Wen H. ...
  • Ceramic Capacitive Pressure Microsensor with Screen-Printed A:ه [59] C. B. ...
  • Noel N. Nemeth , Osama Jadaan, Joseph L. Palko _ ...
  • Sung-pil chang, Geong bong lee, Mark G Allen, "Robust capacitive ...
  • Jithendra N. Palasagaram and Ramesh Ramadoss, "MEMS -Capacitive Pressure Sensor ...
  • Xuefeng Wang, Liang-Hsuan Lu, and Chang Liu, _ Micro machining ...
  • Patel Hardik, V Natrajan, "Design Modeling of polymer based capacitive ...
  • Min-Xin Zhou, Qing-An Huang, Ming Qin, "Modeling, design and fabrication ...
  • Kurt Petersen, Phillip Barth John Poydock Joe Brown, Joseph Mallonir., ...
  • Chengdu Lee, Wei-Fang Huang, Jin-Shown Shied, _ bonding by lo ...
  • Albert K. Henning, Nicholas morals, and Steven Metz, _ based ...
  • Minjie Zhang, Jianying Zhao, Lianxun Gao, "Glass wafers bonding via ...
  • Lue ouellet, "Wafer level MEMS packaging, US Patent 6635509B1, October ...
  • Leslie b. wilner, Polo alto, Calif, "Capacitive transducer", US patent ...
  • Abhijeet V. Chavan, Kensall D., _ Monolithic Fully- Integrated Vacuum- ...
  • Wei-Feng Huang, Jin-Shown Shie, Cheng-Kuo Lee, Shih C. Gong, Cheng-Jien ...
  • Senturia S D and Smith R L, "Microsensor packaging and ...
  • C. Pedersen, S.T. Jespersen, K.W. Jacobsen, J.P. Krog, C. Christensen, ...
  • mic/ fo rskning/mems- app lie ds ensors/public at io ns/art ...
  • C. Pedersen a, S.T. Jespersen, K.W. Jacobsen, J.P. Krog, C. ...
  • Tai-Ran Hsu, "Reliability in MEMS Packaging", Proceedings of 44th International ...
  • Reza Ghaffarian, "Reliability Issues of COTS MEMS Packaging", [Online]. Available: ...
  • Sung-Hoon Choa, "Reliability of MEMS packaging: Vacuum maintenance and packaging ...
  • Sung-Pil Chang, Mark G. Allen, _ Demo nstration for integrating ...
  • Steven C. Chen, Kang Lee, _ Mixed-Mode Smart Transducer Interface ...
  • Zhigang Feng, Qi Wang, and Katsunori Shida, "Design and Imp ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 239
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی