طراحی، آنالیز و شبیه سازی یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی به منظور شناسایی سلول های زیستی

سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 606

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICBME25_018

تاریخ نمایه سازی: 18 اسفند 1397

چکیده مقاله:

در مقاله یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی طراحی شده است. تاثیر تغییر ابعاد تیرک های یک سر گیردارو دیافراگم، بر خواص جابجایی، فرکانس، تنش و حساسیت یک زیست حسگر بررسی شده است و با استفاده از COMSOL 5.3a شبیه سازی شده است. نتایج شبیه سازی و آنالیز عددی همدیگر را تایید می کنند. تیرک های یک سر گیردار در این حسگر از یک لایه piezoresistive، SU8/CB بین دو لایه SU8 تشکیل شده است. این تیرک ها، یک دیافراگم مربعی را نگه می دارند. در این مقاله شبیه سازی ها برای دو حسگر متفاوت انجام شده است . هر دو حسگر از تیرک های یک سر گیردار سه لایه استفاده می کنند. در ساختار اول تیرک ها به صورت متمرکز می باشد یعنی تیرک ها در وسط هر ضلع دیافراگم قرار گرفته اند. در ساختار دوم تیرک ها به صورت پراکنده هستند بدین معنا که در هر انتهای هر ضلع دیافراگم یک تیرک قرار گرفته است. اما ساختار دیافراگم در هر دو حالت یکسان است. نتایج مقایسه این دو حالت گزارش شده است.

کلیدواژه ها:

تنش سطحی ، تیرک یک سر گیردار ، حسگر زیست محیطی ، دیافراگم ، سیستم های میکروالکترو مکانیکی

نویسندگان

مهدیه خرسندی فرد

عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران

کیان جعفری

عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران