مهدیه خرسندی فرد - عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران
کیان جعفری - عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران

در مقاله یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی طراحی شده است. تاثیر تغییر ابعاد تیرک های یک سر گیردارو دیافراگم، بر خواص جابجایی، فرکانس، تنش و حساسیت یک زیست حسگر بررسی شده است و با استفاده از COMSOL 5.3a شبیه سازی شده است. نتایج شبیه سازی و آنالیز عددی همدیگر را تایید می کنند. تیرک های یک سر گیردار در این حسگر از یک لایه piezoresistive، SU8/CB بین دو لایه SU8 تشکیل شده است. این تیرک ها، یک دیافراگم مربعی را نگه می دارند. در این مقاله شبیه سازی ها برای دو حسگر متفاوت انجام شده است . هر دو حسگر از تیرک های یک سر گیردار سه لایه استفاده می کنند. در ساختار اول تیرک ها به صورت متمرکز می باشد یعنی تیرک ها در وسط هر ضلع دیافراگم قرار گرفته اند. در ساختار دوم تیرک ها به صورت پراکنده هستند بدین معنا که در هر انتهای هر ضلع دیافراگم یک تیرک قرار گرفته است. اما ساختار دیافراگم در هر دو حالت یکسان است. نتایج مقایسه این دو حالت گزارش شده است.

تنش سطحی ، تیرک یک سر گیردار ، حسگر زیست محیطی، دیافراگم، سیستم های میکروالکترو مکانیکی