حسگر مشدد حلقوی مبتنی بر یک موجبر ترکیبی پلاسمونیک

در این مقاله یک حسگر مشدد حلقوی در ابعاد میکرومتر مبتنی بر یک موجبر هیبرید پلاسمونیک روی زیرلایه سیلیکون ارایه می شود. موجبر ترکیبی از شکاف بین ساختار فلز سیلیکون تشکیل شده است که در آن میدان نوری در شکاف باریک محصور می شود. از روش عنصر محدود (FEM) برای تجزیه و تحلیل حسگر نوری برای کاربردهای بیوشیمیایی استفاده شده است. حساسیت این حسگر مبتنی بر موجبر هیبرید پلاسمونیک نسبت به دیگر حسگرها بدلیل همپوشانی میدان نوری محیط و پوشش بالای مشدد، زیاد است.عملکرد حسگر پیشنهاد شده با تغییر ضخامت سیلیسیم بررسی می گردد. نتایج شبیه سازی نشان می دهند این حسگر در ابعاد میکرومتر دارای حساسیت بالا و عملکرد خوبی است و مناسب برای آزمایشگاه های بر روی تراشه است.

کلیدواژه ها:

مشدد حلقوی ، موجبر هیبرید پلاسمونیک ، حسگر نوری