نیتریده کردن فلز تیتانیوم توسط یون های تولیدی در دستگاه پلاسمای کانونی سهند

روش نیتراسیون پلاسمایی به کمک دستگاه پلاسمای کانونی در سال های اخیر مورد توجه بسیاری قرار گرفته است. به کمک این روش میتوان ویژگی های سطحی فلزات مختلف را دستخوش تغییر قرار داده و خواص تریبولوژیکی، از جمله سختی و مقاومت این سطوح را در برابر سایش افزایش داد. دراین مقاله از دستگاه پلاسمای کانونی بعنوان چشمه پالسی یون های پر انرژی با گاز کاری نیتروژن جهت بمباران و نیتریده کردن نمونه ها استفاده شده است. دیاگرام های حاصل از پراش پرتوایکس قبل و بعد از بمباران یونی ، به منظور بررسی امکان نیتریده شدن و سپس مشخصه یابی پیک های تیتانیم نیتراید استفاده شدند. تاثیر تعداد شات ها برخواص فیزیکی تیتانیوم نیتراید شامل اندازه دانه ها، تنش باقی مانده و نابجایی ها مورد بررسی قرار گرفت.

کلیدواژه ها:

نیتریداسیون پلاسمایی ، پلاسمای کانونی ، اندازه ذره ، میکرواسترین ، چگالی نابجایی ها