مطالعه اصلاح سطح شیشه توسط لیزر اگزایمر در مجاورت گاز SF6
محل انتشار: دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,111
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_006
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
چکیده مقاله:
چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده وو بر سطح شیشه فرود آیند، برسطح شیشه تغییراتی ایجاد می شود که به صورت ساختاری منظم و تکراری بوده که عنصر تکرار شوندن آن ستون هایی در ابعاد میکرومتر هستند. ضمناً در این فرایند شکست مولکول هایه SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتون های تشکیل دهنده پرتو لیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکول های SF6، انتظار می رود این شکست مولکولی بر اثر برخورد ذرات کنده شده از سطح شیشه توسط لیزر با مولکول های گاز، روی داده باشد. پاره های مولکول های SF6، شکسته شده در سطح شیشه نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می دهند. در این مقاله ضمن بررسی مورفولوژی سطح شیشه، چگونگی نفوذ ذرات در سطح شیشه و خواص اپتیکی سطح اصلاح شده مورد مطالعه قرار گرفته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حمیدرضا دهقانپور
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
پرویز پروین
دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :