حمیدرضا دهقانپور - دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
پرویز پروین - دانشکده مهندسی هسته ای و فیزیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

چنانچه تپ های متعدد لیزر اگزایمر ArF پس از کانونی شدن از میان محیط گازی SF6 عبور کرده وو بر سطح شیشه فرود آیند، برسطح شیشه تغییراتی ایجاد می شود که به صورت ساختاری منظم و تکراری بوده که عنصر تکرار شوندن آن ستون هایی در ابعاد میکرومتر هستند. ضمناً در این فرایند شکست مولکول هایه SF6 هستیم که به علت متفاوت بودن انرژی فوتون های تشکیل دهنده پرتو لیزر با اختلاف ترازهای انرژی مولکول های SF6، انتظار می رود این شکست مولکولی بر اثر برخورد ذرات کنده شده از سطح شیشه توسط لیزر با مولکول های گاز، روی داده باشد. پاره های مولکول های SF6، شکسته شده در سطح شیشه نفوذ کرده و با سطح واکنش شیمیایی می دهند. در این مقاله ضمن بررسی مورفولوژی سطح شیشه، چگونگی نفوذ ذرات در سطح شیشه و خواص اپتیکی سطح اصلاح شده مورد مطالعه قرار گرفته است.

لیزر اگزایمر، میکروساختار، شیشه، گاز SF6