طراحی سنسور فشار با استفاده از ساختارهای فوتونیک کریستال دو بعدی

نویسندگان بر مبنای کریستال فوتونی، طرحی جدید از حسگر فشار ارایه می نمایند که دارای دقت بالا ومحدوده دینامیکی گسترده می باشد. این حسگر مبتنی بر کریستال فوتونی دو بعدی با آرایه مربعی میله ای سیلیکونی احاطه شده با هوا می باشد. این حسگر شامل یک موجبر کریستال فوتونی می باشد که بهیک نانوکاواک کریستال فوتونی متصل است. موجبر با حذف یک ردیف از میله های Si پیکربندی شده و نانوکاواک با تغییر شعاع میله Si تشکیل شده است. حسگر با طول موج 1300 تا nm1400 طراحی شدهاست. نتایج شبیه سازی نشان می دهد که طول موج تشدیدی نانوکاواک با افزایش فشار به صورت خطی به طول موج های بزرگتر تغییر یافته است. حسگر طراحی شده در فشار اعمال شده دارای یک رفتار خطیبین 1.0 تا 4 GPa و حساسیت فشار 3 GPa/nm می باشد.

کلیدواژه ها:

کریستال فوتونی ، موجبر ، نانوکاواک ، حسگر فشار