تاثیر دمای زیرلایه برروی خواص فیزیکی،ساختاری و مورفولوژی لایه های نازک اکسید روی آلاییده با ایندیم

فیلمهای نازک اکسید روی آلاییده با ایندیم به روش افشانه پایرولیزز تهیه شده اند. با مطالعه تاثیر دمای زیرلایه بروی خواص ساختاری پی بردند که در دماهای پایینتر از 450 درجه سانتیگراد راستای غالب پیک (100) می باشد و در دمای 450 درجه سانتیگراد راستای پیک غالب به (002) تغییر جهت می یابد. در دماهای بالاتر از 450 درجه سانتیگراد راستای پیک غالب تغییر نمی کند در حالی که از شدت آن کاسته می شود. نتایج SEM تاثیر دمای زیرلایه روی مورفولوژی سطح فیلمهای انباشته شده را به خوبی نشان می دهند. همچنین برای نمونه های انباشته شده در دماهای پایینتر از 400 درجه سانتیگراد طیف عبور پایین است، سپس با افزایش دما تا 450 درجه سانتیگراد طیف عبور بهتر می شود. برای نمونه های انباشته شده در دماهای بالاتر از 450 درجه سانتیگراد شفافیت کاهش می یابد. در این کار بهینه دمای زیرلایه 450 درجه سانتیگراد می باشد. در این دما، مقاومت سطحی و عبور مرئی به ترتیب برابراست با □/26/5Ω و 75/5%.