بررسی خواص الکتریکی نمونه های ساندویچی Al/Si-PS/Au برای ساخت حسگر گاز N2

در دهه اخیر کاربرد سیلیسیوم متخلخل به عنوان قطعه ای برای حسگر های گازی موردتوجه قرار گرفته است.در این کار خواص الکتریکی لایه های سیلیسیوم متخلخل را که به روش حکاکی الکترو شیمیایی تهیه شده است، بررسی می کنیم.ما دریافتیم که خواص جذبی سطح سیلیسیوم متخلخل به پارامتر های حکاکی بستگی دارد.ساختار فیزیکی سیلیسیوم متخلخل مانند میزان تخلخل و نحوه توزیع تخلخل ها را می توان با تغییر غلظت HF، چگالی جریان ، طول آندی کردن و مدت زمان حکاکی کنترل کرد.ماخواص الکتریکی نمونه های مختلف تهیه شده از لایه های سیلیسیوم متخلخل (نوع p) برای حسگر گازی را در حضور گاز N2 بررسی کردیم.اندازه گیری های مربوط به منحنی های مشخصه I-V برای نمونه ها در دمای اتاق ودر فشار جو در حضور گاز N2 و بدون آن انجام دادیم. نتایج نشان دادند که هنگام جذب گاز،جریان گذرنده از حسگر به طور مشخص افزایش می یابد.