نقش مقاومتهای پلیمری در میکرو لیوگرافی

سال انتشار: 1372
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 610

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_IJPST-6-2_004

تاریخ نمایه سازی: 6 شهریور 1396

چکیده مقاله:

دنیا در سالهای اخیر شاهد جهش بزرگی در زمینه علوم و تکنولوژی به ویژه در صنعت الکترونیک بوده است. پیشرفت عمده ای که در این صنعت از پیدایش ترانزیستور آغاز شد، با پیدایش مدارهای مجتمع (IC) سرعت گرفت. در ساخت مدارهای مجتمع، مواد نقش عمده ای دارند. در میان مواد اولیه متفاوتی که در این صنعت مصرف می شوند، پلیمرها جایگاه ویژه ای پیدا کرده اند. پلیمرها در بخشهای مختلف صنعت الکترونیک مورد استفاده قرار می گیرند و هر روز سهم آنها فزونی می گیرد. میکرولیتوگرافی یکی از بخشهای عمده ای است که پلیمرها در آن نقش مهمی را برعهده دارند. در میکرولیتوگرافی الگوی مدار چاپی توسط دشتگاه های پرتودهی مدرن روی پایه IC نقش می بندد. هر چه پلیمرهای حساستری به کار برده شود، می توان با تکنیک پیشرفته تری اندازه الگوی مدار را روی پایه کوچکتر کرد و حجم IC را تا حد امکان کاهش داد. در این مقاله ضمن معرفی تکنولوژی میکرولیتوگرافی، جایگاه مقاومتهای پلیمری در پیشرفت آن و انتخاب نوع تکنولوژی بررسی می شود.

نویسندگان

سعید پورمهدیان

مرکز تحقیقات پلیمر، دانشگاه صنعتی امیر کبیر

فرامرز افشار طارمی

مرکز تحقیقات پلیمر، دانشگاه صنعتی امیر کبیر