شبیه سازی گیج خلاء یونی با نرم افزار comsol و بهبود حساسیت آن

گیج خلاء یونی کاتد گرم یکی از گیج های خلاء مهم در اندازه گیری فشار خیلی کم یا خلاء خیلی خیلی زیاد UHV می باشد. این گیج ده ها سال است که برای اندازه گیری خلاء تا 10−13

کلیدواژه ها:

یونیزاسیون ، گیج خلاء یونی کاتد گرم ، گیج خلاء بایارد آلپرت ، میکروماشین ، comsol ، mems ، cpt