تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه
محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء
سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,336
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
این مقاله در بخشهای موضوعی زیر دسته بندی شده است:
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV03_004
تاریخ نمایه سازی: 1 شهریور 1387
چکیده مقاله:
در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دما ی زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی چسبندگی این لایه ها به زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است . نتایج حاصله نشان می دهد که چسبندگی لایه های نازک تیتانیومی به زیرلایه های شیشه ای با افزایش دمای زیرلایه افزایش ، با افزایش فشار پایه افزایش و با افزایش فشار گاز آرگن کاهش پیدا می کند . افزایش انرژی یونهای فرودی نیز موجب افزایش چسبندگی لایه ها به زیرلایه می گردد . همچنین علل تغییرات مشاهده شده در چسبندگی در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن ، انرژی یونهای فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.
نویسندگان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :