بررسی رفتار ارتعاشی میکرو تیرک های پیزوالکتریک در حالت خود اندازه گیر و خود محرک

میکرو تیرک ها نسل جدید به دلیل انعطاف پذیری بالا، دقت بسیارزیاد و کم هزینه بودن مورد استقبال قرار گرفته اند. در این مقاله با انتخاب چهار مدل از رایج ترین میکرو تیرک های پیزوالکتریک بهتحلیل ارتعاشی به منظور تعیین چگونگی رفتار آن پرداخته می شود.از آنجایی که شکل هندسی میکرو تیرک ها دارای غیر یکنواختی و هندسه ای خاص است، برای تحلیل ارتعاشی از روش المان محدود بهکمک نرم افزار آباکوس بهره گرفته می شود. مدل سازی ارتعاشی، در دو مد کاری این نوع میکرو تیرکها ( خود اندازه گیر و خود محرک) انجام می شود تا پارامترهای ارتعاشی و ولتاژالقایی در مد های نوسانی مختلف مورد بررسی قرار گیرد. با توجه بههندسه میکرو تیرک در مدل سازی المان محدود، المان سه بعدی انتخاب می شود. نتایح تحلیل نشان می دهد در مدهای نوسانی بالا باتوجه به پیچش میکرو تیرک، المان انتخاب شده المان مناسبی بوده و استفاده از المان تیر و تئوری تیرها در تحلیل این میکرو تیرک ها در مدهای نوسانی بالا مورد قبول نیست. نتایج نشان می دهد مد اول نوسانی بهترین مد برای عملکرد میکرو تیرک پیزو الکتریک در حالت خود محرک و خود اندازه گیر می باشد.

کلیدواژه ها:

میکرو تیرک پیزوالکتریک ، خود اندازه گیر ، خود محرک ، ولتاژ القایی