ارائه طرح بهینه سنسور فشار خازنی MEMS بر پایه تنش پسماند برای مانیتورینگ فشار داخل چشم

سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 789

فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

این مقاله در بخشهای موضوعی زیر دسته بندی شده است:

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CBCONF01_0640

تاریخ نمایه سازی: 16 شهریور 1395

چکیده مقاله:

این مقاله طرحی از سنسور فشار خازنی میکروالکترومکانیکی که روش مناسبی برای مانیتورینگ پیوسته فشار داخلچشم می باشد را ارائه می کند. سپس به توزیع تنش پسماند در صفحه ممبران خازنی سنسور می پردازد و چگونگی تأثیراین پدیده بر صفحه خازن و در نتیجه قرائت فشار چشم بدست می آورد و با شبیه سازی عملکرد صفحات خازن در شرایطحضور و همچنین عدم حضور تنش پسماند رفتار سنسور بروی مواد مختلف مقایسه می شود و طرح بهینه با انتخاب مادهبرای استفاده در این سنسور ارائه می گردد.

نویسندگان

محمد عباسی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی برق، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

امیرابوالفضل صورتگر

دانشیار دانشکده مهندسی برق، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Shen, S.Y., et al., The prevalence and types of glaucoma ...
  • Quigley, H.A. and A.T. Broman, The number of people with ...
  • yEOP MajLiS, BuRhanuddi. "MEMS very low capacitive pressure sensor based ...
  • Ha, D., et al., Polymer-based miniature flexible capacitive pressure sensor ...
  • Ganji, B. Azizollah, and M. Taybi. "accurate model of capacitance ...
  • Liang, Wei, Hidekazu Murakawa, and Dean Deng. "Investigation of welding ...
  • Schellin, R., et al., M easuremens of the mechanical behaviour ...
  • Carrera, E., Thin Plates and Shells: Theory, Analysis, and Applications, ...
  • Steinmann, R., et al., Mechanical behaviour of mi cromachined Sensor ...
  • S-P. Chang and M.G. Allen, "Capacitive pressure sensors with stainless ...
  • Xiong, Jijun, et al. "Wireless LTCC-based capacitive pressure sensor for ...
  • نمایش کامل مراجع