معرفی MEMS-ESG و بررسی رفتار ضرایب سختی و میرایی در روتور این سنسورها

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 866

فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF و WORD قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

TNNC01_012

تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395

چکیده مقاله:

در این مقاله به معرفی میکروژیروسکوپ های تعلیق شده با نیروی الکترواستاتیکی و نیز مطالعه رفتار ضرایب سختی و میرایی آن ها پرداخته می شود. جایگاه این ضرایب در رفتار دینامیکی میکروژیروسکوپ و معادله حاکم بر رفتار روتور دیده می شود. برای بررسی رفتار ضرایب سختی و میرایی روتور دیسکی شکل به صورت صفحه ای دایروی مدل شد و به دلیل حرکت نرمال بر زیرسازه از اثر فشرده شدن غشا بین روتور و زیرسازه استفاده شده است که به صورت تحلیلی و با استفاده از نرم افزار Matlab انجام شده است. برای بیان وابستگی ضرایب سختی و میرایی به فرکانس از توابع کلوین و ارتباط آن با توابع بسل بهره گرفته شد. خروجی حاصل از بررسی رفتار این ضرایب در برابر تغییرات فرکانس در فشارهای مختلف کاری مورد مطالعه قرار گرفت . نشان داده شد که ضرایب میرایی نسبتاً بزرگ هستند و در بازه فرکانسی معینی، تقریباً ثابت می مانند. در مقابل، ثابت های فنری نسبتاً کوچک بوده و در فرکانس های بالاتر، بزرگ تر می شوند. همچنین مشخص شد که ثابت میرایی افت سریعی هم زمان با افزایش فرکانس داشته و در فرکانس های معینی، ضریب فنریت (سختی) برجسته و غالب می گردد. این امر نشان می دهد که در فرکانس های پایین، غشای گاز فشرده شده مشابه یک میراکننده عمل کرده و در فرکانس های بالاتر، همانند یک فنر مکانیکی خواهد بود. این نتایج تطابق مفهومی مناسبی با نتیج دیگر پژوهشگران از جمله بدین دارد.

نویسندگان

سعید دانایی بارفروشی

دانشگاه شاهرود

فرزاد کلیم دست

دانشگاه آزاد اسلامی واحد پردیس

مهدی بزرگی

دانشگاه صنعتی امیرکبیر

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Dunzhu Xia, Cheng Yu and Lun Kong, The Development of ...
  • G. Fukuda, S.Hayashi, The basic research for the new compass ...
  • J. Soderkvist, Micromachined Gyroscopes, Sensors and Actuators, vol.43, pp65-71, 1994. ...
  • F T Han, Y F Liu, L Wang and G ...
  • N. Yazdi, F. Ayazi, K. Najafi, Micromachined Inertial Sensors, Proceeding ...
  • A. M. Shkel, Micromachined Gyroscopes: challenges, design solutions and opportunities, ...
  • H. xie and G.K. Fedder, Integrated Micro electromec hanical Gyroscopes, ...
  • L.A.Rocha eta, Experimental verification of squeezed-film damping models for MEMS, ...
  • Axel Berny, Substrate effects in squeeze film damping of lateral ...
  • D.Badin, Development of M icromachined electro statically suspended gyroscope, Phd ...
  • [Griffin, W. S. Richardson, H. H. and Yamanami S., A ...
  • نمایش کامل مراجع