تحلیل و شبیه سازی مفاهیم مکانیکی موردنیاز در طراحی ریز چرخش سنج های MEMS

در این مقاله، مفاهیم مکانیکی موردنیاز در طراحی یک ریز چرخش سنج لرزشی- ارتعاشی با سه درجه آزادی، شامل دو درجه آزادی در مد تحریک و یک درجه آزادی در مد حس، ارائه شده است. نمودار تنش- کرنش، ضریب یانگ، ضریب پواسون، محاسبات ضریب الاستیه و همچنین استخراج معادلاتی برای محاسبه بیم های ساده و پیچیده. همچنین با استفاده از بیم هایی با هندسه پیچیده و بکارگیری قاب های جداکننده، ساختار مکانیکی منحصربه فردی جها طراحی یک ریزچرخش سنج yAXIS ارائه و شبیه سازی شده است. نتایج شبیه سازی از یک سو نشان دهنده دقت بالای معادلات توصیفی استخراج شده بوده است و از سوی دیگر، نشان می دهد که استفاده از قاب جداکننده و سری- موازی سازی بیم ها، باعث بهبود قابل ملاحظه خصوصیات چرخش سنج مانند مقاومت مکانیکی ساختار آن در تقابل با انتقال نوسان از یک مد به مد دیگر شده است.

کلیدواژه ها:

ریز چرخش سنج ، بیم ، قاب جداکننده و خطای متعامد