طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی جدید تماسی خطی MEMS برای مانیتورینگ فشار تایر خودرو

فشار مناسب در تایرهای خودرو عامل مهم و حیاتی در ایمنی سرنشینان، عملکرد مناسب موتور وسیله نقلیه می باشد به همین جهت استفاده از سیستم مانیتورینگ فشار برای تایرها در بسیاری از کشورهای جهان به صورت قانون درآمده و کلیه خودروها ملزم به دارا بودن این سیستم می باشند. یکی از مهم ترین قسمت های سیستم مانیتورینگف سنسور فشار MEMS می باشد. سنسورهای فشار MEMS خازنی تماسی به دلیل حساسیت بالا، توان مصرفی کم، نویزپذیری کم و ساختار مستحکم که موجب افزایش مقاومت سنسور در برابر بار اضافی می شود گزینه بهتری برای اندازه گیری فشار تایر می باشد. این مقاله ساختاری جدید برای سنسور خازنی تماسی ارائه می دهد. این سنسور دارای دیافراگم مربعی است. وجود جزیره بر روی دیافراگرم و حفره در سطح ویفر موجب افزایش حساسیت سنسور و افزایش نرخ خطی بودن پاسخ سنسور به تغییرات ورودی در مقایسه با ساختار قبلی سنسور تماسی شده است.

کلیدواژه ها:

، MEMS ، سنسور فشار خازنی تایر ، حالت تماسی ، نرخ خطی ، دیافراگم جزیره ایی