ساخت میکروکانال با استفاده از فرآیند برجسته سازی گرم

در این مقاله فرآیند ساخت میکروکانال ها با استفاده از روش برجسته سازی گرم ارائه گردیده است. همچنین با استفاده از راهکارهایی، پیچیدگی ها و هزینه ساخت کاهش داده شده و از موادی پلیمری، کم هزینه و سازگار با نمونه های زیستی بهره گرفته شده تا برای استفاده در ابزارهای ریزسیال مناسب باشند. برای ایجاد میکروکانال ها ابتدا مهری از جنس پلیمر SU-8 با استفاده از روش های لیتوگرافی استاندارد، روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده، سپس با اعمال فشار و حرارت طی فرآیندی کنترل شده، میکروکانال مورد نظر در بستری از جنس پلیمر PMMA ایجاد گردیده است. استفاده از مهر SU-8 صافی سطح بهتری را در کف کانال منجر شده و به ایجاد جریان های آرام در داخل کانال کمک می نماید. همچنین دیواره کانال ها به طور قابل قبولی عمود بوده و این مسئله در تصاویری که با میکروسکوپ روبش الکترونی گرفته شده، به خوبی نشان داده شده است. عوامل موثر بر کیفیت ساختار ایجاد شده از قبیل دما، فشار و زمان حرارت دهی مورد بررسی قرارگرفته و مقادیر بهینه تعیین گردیده اند. همچنین، میکروکانال های ساخته شده در این مقاله دارای عرض 15 میکرومتر و عمقی برابر 40 میکرومتر می باشند.

کلیدواژه ها:

برجسته سازی گرم ، SU-8 ، MEMS ، میکروکانال ، PMMA