سنسور فشار خازنی با ساختار MEMS

از آنجایی که نیاز به اندازهگیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و .... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورها و تغییر در رنج اندازهگیری آنها از ماکرو به میکرو، نیازمند طراحی و ساخت سنسورهای جدید یا تغییر ابعاد سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو میباشد، متخصصین در زمینه ها، کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرتر مهندسین ابزار دقیق را بر آن میدارد تا به طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازهگیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود برآیند. در این مقاله طراحی یک سنسورMEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل (FEM) (المان محدود) شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش ،تنش و فرکانس تشدید با استفاده از روش حلEigen Frequency محاسبه گردیده است. هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسور فشار می باشد که با افزایش فشار وارده بر سنسور ،میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتریک ها، افزایش دادیم.فرکانس تشدید21.3 مگاهرتز محاسبه شده است.

کلیدواژه ها:

جابجایی ، خمش ، سنسور فشار خازنی ، سیستم های میکروالکترومکانیکی ، فرکانس تشدید