طراحی و ساخت پرتو شکاف مرئی- مادون قرمز

در این پژوهش، طراحی و ساخت نمونهای از پرتوشکافهای تیغهای که قابلیت تفکیک دو ناحیه مرئی و مادون قرمز رادارا باشد انجام پذیرفت. پرتوشکافی که بازتاب آن در ناحیه مرئی و عبور آن در ناحیه مادون قرمز بیشینه باشد. اینپرتوشکاف 21 لایهای بر بستره سیلیکون طراحی، و به روش پرتو الکترونی وبوته حرارتی ساخته شده و با بهره گیری ازضخامتسنج کریستالی در محفظه خلاء6- 10×5 میلی بار لایه نشانی شده است. در نهایت نمونه ساخته شده دارای میانگین بازتاب 11 % در محدوده طول موجی 055 -750 نانومتر و میانگین عبور 94درصد درمحدوده طول موجی 3600-5000نانومتر می باشد

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، پرتو شکاف ، لایه نشانی بخار فیزیکی