بررسی اثر دما بر کارکرد شتاب سنجهای خازنی

شتابسنج های خازنی از پر کاربردترین محصولات MEMS میباشند. یکی از مواردی که مانع از استفاده گسترده تر این نوع شتابسنجها می باشد، عملکرد آنها در بازهی دمایی کمی می باشد. در این تحقیق اثرات تغییر دما بر یک شتابسنجخازنی میزان تاثیر گذاری دما بر فرکانسهای طبیعی آن با استفاده از روش المان محدود شبیه سازی شده است. در پایان مشخص شده است که رابطه ای خطی بین میزان انبساط تیرها و فرکانس طبیعی شتابسنج وجود دارد

کلیدواژه ها:

شتابسنج خازنی ، MEMS ، دما ، انبساط حرارتی ، بازه دمایی عملکرد