بررسی میرایی ترمولاستیک در مدل غیر خطی تشدید کننده های دریایی MEMS با روش DQ

اخیرا نقش سیستم های میکرو الکترومکانیکی(MEMS) در صنایع مکاترونیک دریایی روزبه روزاهمیت بیشتری پیدا می کند. در این راستا تشدید کننده های دریایی به عنوان حسگر کاربردی ویژه یافته اند. در این مقاله،مدلی غیر خطی از تشدید کننده دریایی با درنظر گرفتن میکروتیر دو سرگیردار تحت بار الکترواستاتیکی و اثرات کشش درون صفحه ای و ترموالاستیکی ارائه شده است. فرکانس ارتعاش آزاد با گسسته سازی براساس روش DQ بدست آمده است. فرکانس به دلیل وجود اثر ترموالاستیکی که اتلاف انرژی را سبب می شود دارای مقداری مختلط است. با تفکیک مقادیر حقیقی و موهومی فرکانس به دلیل وجود اثر ترموالاستیکی که اتلاف انرژی را سبب می شود دارای مقداری مختلط است. با تفکیک مقادیر حقیقی و موهومی فرکانس می توان ضریب کیفیت میرایی ترموالاستیک را محاسبه کرد. اثر های کشش درون صفحه ای و ترموالاستیک نیز با مقالات مراجع صحه گذاری شدند. این مقاله نشان داد است که عامل اصلی غیر خطی ولتاژ می باشد که بین مدل های خطی وغیر خطی تفاوت ایجاد می کند. همچنین این مقاله نشان داده شده است در ولتاژ های بالا مدل خطی برای محاسبه میرایی ترموالاستیک خطای زیادی دارد که برای این منظور می بایست از مدل غیر خطی استفاده کرد.

کلیدواژه ها:

تشدید کننده دریاییف میکروتیر ، ارتعاشات آزادغیرخطی ، میرایی ترموالاستیک غیرخطی ، روش DQ