رشد و مشخصه یابی نانو بلورهای ژرمانیوم در لایه های نازک اکسید ژرمانیوم تهیه شده به روش تبخیر حرارتی ستون الکترون در خلاء

لایه های نازک اکسید ژرمانیوم به شیوه ی تبخیر حرارتی ستون الکترون تهیه و تحت باز پخت قرار گرفتند. بررسی لایه ها به وسیله ی طیف سنجی تبدیل فوریه XPS فرو سرخ نشان دهنده بهبود، ساختار شیمیایی لایه ها، ترمیم نقصهای شبکه و حذف پیوندهای آویزان اکسیژن در اثر باز پخت می باشد. مشخصه یابی بوسیله ی آنالیز 600 متبلور می شوند. تصاویر درجه سانتیگراد، نانو ذرات آمورف ژرمانیوم تولید و در Ta=500◦C نشان داد که در اثر تجزیه ی جزئی به واسطه ی باز پخت حرارتی و رامان تائید این نتایج بوده و ابعاد ذرات را بین 11 تا 16 نانو متر در فاز بلوری چهاروجهی نشان دادند. TEM میکروسکوپ الکترونی عبوری