مدل سازی المان محدود میکرو سنسور جریان بر اساس گرادیان دما

تکنولوژی میکروالکترومکانیک، دارای کاربرد وسیعی در زمینه ی شناسایی خصوصیات انواع سیالات میباشد. در بسیاری از صنایع کلیدی،سیالاتی وجود دارندکه دانستن مقدار، سرعت و جهت حرکت آنها درکنترل فرایندها لازم است. از جریان مترهای انتقال حرارتی می توان برایاندازه گیری بسیار دقیق سرعت جریان استفاده نمود. المان های حساس، شامل گرم کننده هایی هستند که در داخل جریان به صورت معلق قرارمیگیرند. در پژوهش حاضر یک سنسور جریان سنج بر اساس گرادیان دما مورد بررسی قرار می گیرد و مدلسازی المان محدود دو بعدی سیالاتی-حرارتی انجام می شود. از مقایسه نتایج مدلسازی با نتایج تجربی مشخص می شود که در کانال دارای گرم کننده با ارتفاع موثر بر روی جریان، بهتر است سنسور در انتهای پایین دست کانال قرار گیرد، زیرا اثر تلاطم جریان ناشی از ارتفاع گرم کننده، بر روی گرادیان دما حداقل خواهد بود.

کلیدواژه ها:

میکروسنسور جریان ، تحلیل المان محدود ، میکروکانال جریان ، ضریب همبستگی ، گرم کننده