بررسی افزایش دمای سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محیط پلاسما
محل انتشار: دومین همایش ملی مهندسی مواد
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 455
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOMAE02_073
تاریخ نمایه سازی: 16 خرداد 1394
چکیده مقاله:
در این تحقیق به بررسی اثر بمباران ذرات باردار (یونها و الکترونها) بر افزایش دمای سطح در محیط پلاسما پرداخته شده وچگالی شار انرژی ناشی از ذرات باردار بر روی زیرلایه مورد مطالعه قرار میگیرد. نتایج بدست آمده نشان میدهد که چگالیشار الکترون ها و انرژی آنها در مقایسه با یونها ناچیز بوده و در قیاس با آنها نقشی در افزایش دمای سطح ندارند. نیز اگرچهکه در محیط لایه نشانی پلاسمایی، چگالی شار یونها با افزایش ولتاژ زیرلایه کاهش می یابد اما افزایش انرژی آنها با بایاس،منجر به افزایش دمای زیرلایه می شود. افزایش درجهی یونیزاسیون پلاسما نیز منجر به افزایش دمای سطح می گردد.
نویسندگان
سمیه مهرابیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه شاهرود، شاهرود، ایران