بهبود خواص ساختاری و الکترونوری لایه های نازک اکسید ایندیم و قلع (ITO) با عملیات گرمادهی
محل انتشار: چهاردهمین همایش بلور شناسی و کانی شناسی ایران
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,348
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
SCMI14_041
تاریخ نمایه سازی: 29 تیر 1386
چکیده مقاله:
لایه های نازک اکسید ایندیم و قلع (ITO) با ضخامت 150nm با استفاده از دستگاه باریکه الکترونی روی شیشه لایه گذاری شد. لایه گذاریها در دمای اتاق انجام شده و به منظور بهبود خواص الکترواپتیکی و ساختاری، لایه ها در کوره خلا تحت عملیات حرارتی قرار گرفتند. تغییرات خواص ساختاری، الکتریکی و نوری لایه ها با تغییر دمای کوره مورد بررسی قرار گرفته ومشاهده شد که در دمای 400 درجه سانتی گراد می توان به بیشترین درصد عبور و در عین حال کمترین مقاومت سطحی دست یافت . با استفاده از انالیز AFM , XRD دیده شد که در این دمنا لایه ها دارای ساحتار چند بلور با بافت سطحی <111> شده و دانه های کریستالی در این جهت نیز 35-40nm می باشد.
نویسندگان
قاسم کاوه ای
پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی
علی محمدی قیداری
پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :