نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی(AFM,STM)

این گزارش که از گردآوری نتایج تحقیقات انجام شده در زمینه ی میکروسکوپ های پروبی روبشی(SPM) و نانولیتوگرافی به دست آمده، متشکل از سه قسمت، که قسمت اول معرفی میکروسکوپ ها، قسمت دوم معرفی SPM ها (AFM ,STM) ، نحوه بررسی سطوح، حالات کاری و قسمت سوم به بحث نانولیتوگرافی با استفاده از SPM ها ،نحوه تابش لایه محافظ، رسوب دهی ماده، اچ کردن، اصلاحات حرارتی، اکسیداسیون و DPN پرداخته شده است. از مزایای لیتوگرافی با استفاده از SPM ها می توان کاهش خطای ثبت ساخت، دمای کار کم، نیاز به تجهیزات کم، ایمنی، استفاده از اکثر عناصر ناخالصی، هزینه کم نسبت به روش های دیگر باتوجه به دقت بالا و معایب آن می توان سرعت و بازدهی کم، احتمال خطا در طی مدت باتوجه به آسب پذیر بودن نوک پروب، مجازی بودن تصاویر حاصل از AFM را می توان برشمرد.

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ های پروب روبشی ، نانولیتوگرافی ، AFM ، STM