مدل سازی و شبیه سازی رفتاری ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS با استفاده از نرم افزار MATLAB/SIMULINK

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,779

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

INCEE01_067

تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393

چکیده مقاله:

در این مقاله، یک ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS در مد انتقالی به صورت حلقه باز مدل سازی و شبیه سازی شده و روش حسگری خازنی به دلیل پیاده سازی آسان و سازگاری آن با تکنولوژی MEMS و مدارات پردازش سیگنال، مورد استفاده قرار گرفته است. ژیروسکوپ مدل شده دارای مشخصات Δf = 79.56Hz ، Qdrive =Qsense = 4.17، wdrive = 9.45Krad / s و wsense = 9.95Krad / s می باشد. مدل سازی این ژیروسکوپ در دو بخش مکانیکی شامل بلوک های مبدل و پارازیتی جهت استخراج تغییرات ظرفیت خازنی و الکترونیکی شامل بلوک های تقویت کننده مد بار سوئیچ خازنی و فیلتر پایین گذر برای تبدیل تغییرات خازنی خوانده شده به ولتاژ جهت استخراج سرعت زاویه ای می باشد. اعتبار نتایج هر دو بخش مکانیکی و الکترونیکی به کمک نرم افزار MATLAB/SIMULINK برای سرعت های زاویه ای ثابت سنجیده شده است.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

نوید دیناروند

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی الکترونیک. اجزای دقیق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

محمد خالقی

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی الکترونیک. اجزای دقیق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

احمد عفیفی

استادیار مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • محمد محجوب جهرمی، علی ابوالقاسمی آزاد، طراحی یک شتاب سنج ...
  • C. Acar and A. Shkel. MEMS Vibratory Gyroscope, Structural Approach ...
  • N. Yazdi and F. Ayazi, M icromachined Inertial Sensors, Proc. ...
  • C. Acar and A Shkel. MEMS Vibratory Gyroscope, Structural Approach ...
  • N. Maluf and K Williams, An Introduction to Micro electro ...
  • V. Kempe, Inertial MEMS, Cambridge University Press, pp. 364-433, 2011. ...
  • V. Apostolyuk. Theory and Design of Micro mechanical Vibratory Gyroscope, ...
  • L. Aaltonen, Integrated Interface Electronics For Capactive MEMS Inertial Sensors, ...
  • M. Kraft, C. P. LewisSignal, pick-off in micromchined accel erometers, ...
  • B. Razavi, Design of Analog CMOS Integrated Circuits, Mc -GRAW-HILL, ...
  • T. Grigorie, The M atlab/Simulink Modeling and Numerical Simulation of ...
  • B. Hazarika, N. Afzulpurkar, Design, Simulation and Modeling of MEMS ...
  • F. Chen, H. Chang, Parameter Optimization For a High- Sigma-delta ...
  • Modulator MEMS Gyroscope Using a Genetic Algorithm Approach, Proc. IOP ...
  • IEEE Std 1431. IEEE Standard Specification Format Guide and Test ...
  • نمایش کامل مراجع