عملکرد سنسور اندازه گیری جا به جایی فیبر نوری بر پایه میکروالکترومکانیک و بررسی مزاییای این سنسور در اندازه گیری طیوح ناصاف در ابعاد نانو

حسگرهای الکترو نوری بیشتر به علت سادگی در طراحی در هر ابعاد دلخواه بخصوص در ابعد میکرو و نانو توسعه فراوانی داشته اند و بیشتر در مواقعه ای که استافده از نیروی انسان مقدور نبوده و یا در ابعاد کوچک انسان جوابگوی این حالت نبوده یه ساخت و طراحی این سنسورها پرداخت شده است. بر همین اساس قصد داریم سنسور انادزه گیری جابجایی فیبر نوری جدیدی که مبتنی بر تکنولوژی میکروالکترومکانیکی می باشد را که هم دقت اندازه گیری بالا و هم بعلت استافده از این تکنولوژی قابلیت تغییر ابعاد وجود دارد را برای این نوع حسگرها ، مورد آنالیز قرار بدهیم. تمام طراحی های سنسور در حد میکرو بوده و برای اندازه گیری سطوح ناصاف در ابعاد نانو مورد استافده قرار می گیرد تمام سنسورهایی که تا ححال برای اندازه گیری این سطوح ناصاف نانو مورد استفاده قرار می گرفت دارای ریسک بالایی بود چون امکان آسیب زدن به سطح مورد نظر بیشتر بوده است.

کلیدواژه ها:

FODS ، Displacement ، Core ، correlation ، Clad