ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

سال انتشار: 1385
کد COI مقاله: CMC08_010
زبان مقاله: فارسیمشاهد این مقاله: 1,200
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

کاظم زندی - گرو
سعیده ثقفی - مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات ،
شمس الدین مهاجرزاده - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران
عزت اله ارضی - آزمایشگاه نانو فیزیک، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران

چکیده مقاله:

در این مقاله یک روش جدید برای زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) گزارش شده است . در حالیکه زدایش با استفاده از فاز بخار مخلوطی از محلول اسیدهای فلوئور سیلیسیک (H2 SiF6) و نیتریک انجام می شود نور لیزر، زدایش را در جهت تابش در اثر القا تقویت می کند . زدایش ًآهنگ شدیدا به طول موج نور لیزر و درصد ترکیبات محلول بستگی دارد و حداکثر تا آهنگ 30μm hr قابل دسترسی است . با استفاده از میکروسکوب الکترونی و عکسبرداری اپتیکی به کمک میکروسکوپ ، خالی شدن زیر ماسک مورد بررسی قرار گرفته و نتایج آن گزارش شده است

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/25852/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
زندی، کاظم و ثقفی، سعیده و مهاجرزاده، شمس الدین و ارضی، عزت اله،1385،زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر،هشتمین کنفرانس ماده چگال،مشهد،،،https://civilica.com/doc/25852

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1385، زندی، کاظم؛ سعیده ثقفی و شمس الدین مهاجرزاده و عزت اله ارضی)
برای بار دوم به بعد: (1385، زندی؛ ثقفی و مهاجرزاده و ارضی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

پشتیبانی