زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,431

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CMC08_010

تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1385

چکیده مقاله:

در این مقاله یک روش جدید برای زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) گزارش شده است . در حالیکه زدایش با استفاده از فاز بخار مخلوطی از محلول اسیدهای فلوئور سیلیسیک (H2 SiF6) و نیتریک انجام می شود نور لیزر، زدایش را در جهت تابش در اثر القا تقویت می کند . زدایش ًآهنگ شدیدا به طول موج نور لیزر و درصد ترکیبات محلول بستگی دارد و حداکثر تا آهنگ 30μm hr قابل دسترسی است . با استفاده از میکروسکوب الکترونی و عکسبرداری اپتیکی به کمک میکروسکوپ ، خالی شدن زیر ماسک مورد بررسی قرار گرفته و نتایج آن گزارش شده است

نویسندگان

سعیده ثقفی

مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات ،

شمس الدین مهاجرزاده

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران

عزت اله ارضی

آزمایشگاه نانو فیزیک، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران