CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

عنوان مقاله: زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر
شناسه (COI) مقاله: CMC08_010
منتشر شده در هشتمین کنفرانس ماده چگال در سال 1385
مشخصات نویسندگان مقاله:

کاظم زندی - گرو
سعیده ثقفی - مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات ،
شمس الدین مهاجرزاده - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران
عزت اله ارضی - آزمایشگاه نانو فیزیک، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران

خلاصه مقاله:
در این مقاله یک روش جدید برای زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) گزارش شده است . در حالیکه زدایش با استفاده از فاز بخار مخلوطی از محلول اسیدهای فلوئور سیلیسیک (H2 SiF6) و نیتریک انجام می شود نور لیزر، زدایش را در جهت تابش در اثر القا تقویت می کند . زدایش ًآهنگ شدیدا به طول موج نور لیزر و درصد ترکیبات محلول بستگی دارد و حداکثر تا آهنگ 30μm hr قابل دسترسی است . با استفاده از میکروسکوب الکترونی و عکسبرداری اپتیکی به کمک میکروسکوپ ، خالی شدن زیر ماسک مورد بررسی قرار گرفته و نتایج آن گزارش شده است

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/25852/