انواع روش های ممکن سنسورهای اندازه گیری جابه جایی فیبر نوری (FODS) مبتنی برسیستم های میکروالکترومکانیکی

در سال های اخیرحسگرهای الکترو نوری توسعه وکاربرد زیادی پیدا کرده اند.در برخی موارد که شرایط کاری، محدودیتهای جدی اعمال می کند،شرایط ایمنی ایجاب می کند که بجای سنسورهای معمولیفقط از سنسورهای فیبر نوری استفاده کنیم.بر همین اساس قصد داریم سنسور اندازه گیری جابجایی فیبر نوری جدیدی که مبتنی بر تکنولوژی میکروالکترومکانیکی می باشد را که هم دقت اندازه گیری بالا و هم بعلت استفاده از این تکنولوژی قابلیت تغییر ابعاد وجود دارد را برای این نوع حسگرها،مورد آنالیز قرار بدهیم. تمام طراحی های سنسور در حد میکرو بوده می توان دو فیبر را در بستر سیلیکونی جا سازی کرد که برای تغییرات زاویه برای هر فیبر را روی یک ممبرین(بازو) مجزا تعریف کرد.که برای تغییر آینه باید آینه را رو بازو قرار داد تا بتوان تغییر مسافت را مدل سازی کرد. با طراحی این سنسور جابجایی میتوان با اطلاع از مکان هدف از میزان سرعت و شتاب اطلاع داشت همانطورکه میدانیم تغییرات مکان در زمان برابر با سرعت بوده و از تغییرات سرعت در زمان می توان از شتاب اطلاع داشت

کلیدواژه ها:

FODS ، Displacement ، Core ، correlation ، Clad