بررسی اثر پارامترهای اسپاترینگ بر ضخامت لایه نشانی پوشش نقره

لایه های نازک نقره (Ag) به دلیل خواص الکتریکی، نوری و ضد میکروبی منحصر به فرد خود، توجه زیادی را به خود جلب کرده اند که یکی از مهمترین حوزه های کاربرد آن در بازتاب دهنده های خورشیدی (OSR) است. در این پژوهش از میان روش های مختلف نشاندن، لایه اسپاترینگ مگنترون DC به عنوان یک روش کارآمد و قابل کنترل برای تولید پوشش های با کیفیت مورد نیاز انتخاب شد و اثر سه پارامتر کلیدی اسپاترینگ شامل توان (۵۰، ۱۰۰، ۱۵۰ وات)، زمان (۵، ۱۰، ۱۵ دقیقه) و فشار گاز آرگون (۳، ۵، ۷ میلی تور) بر ضخامت لایه های نقره نشسته بر زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان داد که ضخامت لایه با افزایش توان و زمان اسپاترینگ به طور قابل توجهی افزایش می یابد. همچنین تاثیر فشار آرگون به صورت غیر خطی بوده و در فشار ۵ میلی تور بیشترین نرخ نشاندن حاصل شده است. طبق نتایج آزمون مشخص شد که هر سه عامل بر ضخامت لایه تاثیرگذار هستند و زمان اسپاترینگ بیشترین سهم را در این میان دارد. این یافته ها دیدگاه های ارزشمندی را برای بهینه سازی شرایط اسپاترینگ به منظور کنترل دقیق ضخامت لایه های نازک نقره در کاربردهای مختلف ارائه می دهد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، نقره ، اسپاترینگ مگنترون ، DC ، ضخامت لایه ، پارامترهای اسپاترینگ ، زیرلایه ، شیشه