بررسی تغییرات مورفولوژیکی و تخریب سطحی لایه نازک تنگستن تحت تابش یون های هلیوم پرانرژی

در این مقاله، نمونه لایه نازک تنگستن لایه نشانی شده بر روی زیر لایه گرافیتی با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی تحت تابش یون های هلیوم پر انرژی قرار داده شده، از آنالیزهای SEM و EDX برای تحلیل نمونه های لایه نازک تنگستن استفاده شده است. از نتایج بدست امده جهت بررسی اثر تابش یون های هلیوم بر لایه نازک تنگستن استفاده شد. رشته تاول های در سطح لایه نازک تنگستن دیده می شود که از بهم پیوستن تاول های کوچک تر ایجاد شده اند. نتایج نشان میدهد که تابش یون های هلیوم بر لایه نازک تنگستن و تنگستن درای اثرات مشابهی است، ولی پدیده های همچون کندوپاش نیز در برخی نواحی لایه نازک تنگستن دیده می شود که به طور کلی لایه نازک تنگستن از بین رفته و زیر لایه گرافیتی پدیدار شده است. برای بدست آوردن مشخصات باریکه یونی هلیوم از کد لی استفاده شده و نتایج نشان می دهد که در هرشات تعداد ۱۰۱۴×۷.۹ یون از ستون پلاسما ساطع می شود، و عمر پینچ در حدود ns ۳۰.۷ است.

کلیدواژه ها:

تابش یون های هلیوم پرانرژی ، لایه های نازک تنگستن ، دستگاه پلاسمای کانونی ، تغییرات مورفولوژی سطح