بتون مشخصه‌های خروجی رزوناتور خازنی ممزی

روش‌های ساخت رزوناتور ممزی همساز با تکنولوژی ساخت CMOS می‌باشد و همراه با دیگر عناصر مدار الکتریکی در یک مدار مجتمع ساخته می‌شود. از مزایای رزوناتور ممزی خازنی ( الکترو استاتیک) مصرف توان بسیار کم، تغییرات ناچیز خروجی در شرایط محیطی و دمای مختلف، عدم حساسیت به نویز الکتریکی می‌باشد. مشخصه‌های خروجی رزوناتور میکروالکترو - مکانیکی MEMS نامه‌هایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به‌کاررفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیز خازنی (مدل الکترا استاتیک) تشریح شده است و تصویر پارامترهای مختلف نظری به کیفیت و فرکانس به روش تحلیلی و شبیه‌سازی نشان داد و مقایسه شده‌اند و ساختار جدید ارائه شده است. با استفاده از این نتایج می‌توان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

کلیدواژه ها:

میکروالکترومکانیک MEMS ، رزوناتور میکروتیر ، تکنولوژی ساخت CMOS ، زری کیفیت ، فرکانس رزونانس