سال انتشار: 1386
محل انتشار: دومین همایش دانشجویی فناوری نانو
کد COI مقاله: NANOSC02_267
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 2,152
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 5 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:
مشخصات نویسندگان مقاله لیتوگرافی پروبی روبشی شیمیایی مکانیکی (MC-SPL) در ابعاد نانومتری بر روی لایه ماسک فوتورزیست
چکیده مقاله:
در این تحقیق ابتدا نانو لیتگرافی برروی لایه ماسک فوتورزیست که روی بستر LiTaO3 لایه نشانی شده با ایجاد حفره هایی با پارامترهای مختلف بررسی مینماییم . سپس روش لیتوگرافی پروبی روبشی مکانیکی شیمیایی (mechano- chemical scanning probe lithography) بررسی AFM الگوهای پیچیده تری بوسیله لیتوگرافی نیروی مستقیم Al/SiO2/Si میشود که در آن بر روی لایه ماسک لایه نشانی شده بر روی چند لایه ایجاد میشود . سپس ویفر را بوسیله محلول اسید فسفریک اچ میگردد و نانو ساختارهای آلومنیوم ایجاد میگردد . این تشکیل نانو ساختارها گام مهمی به
سمت یاخت قطعات نانومتری است .
کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله
کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا NANOSC02_267 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:https://civilica.com/doc/23024/
نحوه استناد به مقاله:
در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:عبدالاحد، محمد و اخوان، امید و مشفق، علیرضا،1386،لیتوگرافی پروبی روبشی شیمیایی مکانیکی (MC-SPL) در ابعاد نانومتری بر روی لایه ماسک فوتورزیست،دومین همایش دانشجویی فناوری نانو،کاشان،https://civilica.com/doc/23024
در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1386، عبدالاحد، محمد؛ امید اخوان و علیرضا مشفق)
برای بار دوم به بعد: (1386، عبدالاحد؛ اخوان و مشفق)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :- S.Zankovych, T.Haffmann , J.Seekamp , J-U Bruch and C M ...
- H.Schiff , J.Gobrecht , C.Padesta , L .J.Heyderman , Mic ...
- G.Y. Liu, S. Xu, Y.L. Qian, Acc. Chem. Res. 33 ...
- H.D. Fonseca Filho, M.H.P. Maur! cio, C.R. Ponciano, R. Prioli, ...
مدیریت اطلاعات پژوهشی
اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.
علم سنجی و رتبه بندی مقاله
مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.
مقالات پیشنهادی مرتبط
- طراحی و شبیه سازی کوپلینگ نوری بین کوپلرهای توری پراش در موجبرهای تخت پلیمری جدا
- شبیه سازی یک سیستم آشکارسازی هتروداین پسیو در فرکانس های تراهرتز
- بررسی اثر میزان تبدیل و نسبت بخار بر روی کراکینگ خوراک اتان در واحد الفین
- تحلیل و ارزیابی تولید و انتقال حرارت در راکتور بستر ثابت فرایند جفت شدن اکسایشی متان
- بررسی تحلیلی روشهای محاسباتی ویسکوزیته مخلوطهای گازی و محاسبه ویسکوزیته مخلوط گازهای حاصل ازتجزیه هیدرازین
مقالات فوق بر اساس داده کاوی مقالات مطالعه شده توسط پژوهشگران محاسبه شده است.
مقالات مرتبط جدید
- سنتز شیشه- سرامیک سراویتال به روش واکنش در حالتجامد از شیشه ضایعاتی اکسیدکلسیم اکسیدسدیم و ارزیابی زیست فعالی آن
- ارزیابی عملکرد شرکت خودرو سازی با رویکرد ترکیبی AHP, BSC و TOPSIS
- Using Nanoparticle Coating in Dedicated Digital Image Correlation for Mixed-Mode CTOD Calculation and Crack Growth Estimation
- تاثیر اعمال استراتژی حفاظت از محیط زیست دولت بر قیمت محصولات سبز و غیرسبز، در زنجیره تامین ترکیبی
- یکپارچه سازی برنامه ریزی تولید، نگهداری-تعمیرات و کنترل کیفیت برای سیستم چند جزئی
مقالات فوق اخیرا در حوزه مرتبط با این مقاله به سیویلیکا افزوده شده اند.
به اشتراک گذاری این صفحه
اطلاعات بیشتر درباره COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.