بررسی اثر ضخامت بر خصوصیات فیزیکی لایه های نازک آلومینیومی

در این مقاله سعی شده است ضخامت چند قطعه تک لایه آلمینیومی که باضخامت تهیه شده را با روش های مختلف بدست اورده و ضمن تحیل داده های نمونه به مقایسه نتایج آنها می پردازیم. در ادامه ضمن بررسی فرایند شد لایه ها تاثیر ضخامت بر برخی از خواص اپتیکی مانند بازتاب عبورمورد بررسی قرار میگ یرند. در فرایند رشد لایه ها از داده های آزمایشگاهی میکروسکوپ الکترونی روبشی و دستگاه پراش پرتو ایکس بهره گرفته شده است.