لایه نشانی لایه هادی وشفاف آمورف Zn-In-Sn-O برروی بسترشیشه بااستفاده ازروش RF magnetron sputtering

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 532

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

BSNANO03_201

تاریخ نمایه سازی: 9 بهمن 1392

چکیده مقاله:

لایه های آمورف(ZITO) Zn-In-Sn-O برروی زیرلایه PET با استفاده ازروش RF magnetron sputtering لایه نشانی شد کمترین مقاومت صفحه بدست امده برای 17 /sq ,ZITO و شفافیت آن به مراتب بیشتر ازITO بود لایه های ZITO کاملا امورف بودند وزبری سطح آنها نسبت به ITO بسیارکمتر بود اندازه قطرسطح ذرات درZITO درحدو 20nm و درITO درحدود 79nm بدست امد

کلیدواژه ها:

اکسیدهای هادی و شفاف آمورف ، ITO (In-Sn-O) ، ZITO (Zn-In-Sn-O)

نویسندگان

حسین امانی داز

دانشگاه صنعتی مالک اشترایران تهران

عباس عبدالملکی

دانشگاه صنعتی مالک اشترتهران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • C. Kittel, P. McEuen, Introduction to solid state physics, Wiley ...
  • T. Minami, Transparent conducting oxide S e mic onductors ...
  • Semiconductor Science and Technology, 20 (2005) S35. ...
  • G.J. Exarhos, X.D. Zhou, Di scovery-based design of transparent conducting ...
  • I. Hamberg, A. Hjortsberg, C. Granqvist, High quality transparent heat ...
  • R. Bel Hadj Tahar, T. Ban, Y. Ohya, Y. Takahashi, ...
  • P. Carreras, S. Gutmann, A. Antony, J. Bertomeu, R. Schlaf, ...
  • G.S. Heo, Y. Matsumoto, I.G. Gim, H.K. Lee, J.W. Park, ...
  • T. Minami, Substitution of transparent conducting oxide thin films for ...
  • X. Li, Q. Zhang, W. Miao, L. Huang, Z. Zhang, ...
  • R.G. Gordon, Criteria for choosing transparent conductors, Mrs Bulletin, 25 ...
  • G.-S. Heo, Y. Matsumoto, I.-G. Gim, J.-W. Park, K.-Y. Kim, ...
  • applications to organic light-emitting diodes, Solid State C Ommun ications ...
  • T. Minami, T. Yamamoto, Y. Toda, T. Miyata, Transparent conducting ...
  • D.E. Proffit, S.P. Harvey, A. Klein, R. Schafranek, J.D. Emery, ...
  • transparent conducting oxides, Thin Solid Films, 520 (2012) 5633-5639. ...
  • G.S. Heo, I.G. Gim, J.W. Park, G.Y. Kim, T.W. Kim, ...
  • G.B. Palmer, K.R. Poeppelmeier, D.D. Edwards, T. Moriga, T.O. Mason, ...
  • K. Tominaga, T. Murayama, I. Mori, T. Okamoto, K. Hiruta, ...
  • simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium- oxide targets, Vacuum, 59 ...
  • K. Sreenivas, T. Sudersena Rao, A. Mansingh, S. Chandra, Preparation ...
  • W .-F. Wu, B.-S. Chiou, Effect of annealing _ electrical ...
  • D.-S. Liu, C.-S. Sheu, C.-T. Lee, C.-H. Lin, Thermal stability ...
  • نمایش کامل مراجع