بررسی اثرعملیات پلاسما اچینگ بر چسبندگی پوشش شفاف هادی اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم بر زیرلایه پلی کربنات

اخیرا استفاده از زیرلایه های پلیمری بجای شیشه های معدنی جهت اعمال پوششهای شفاف هادی در کاربردهای الکترواپتیک توجه زیادی را جلب کرده است. یکی از مهمترین مشکلات لایه نشانی لایه نازک شفاف هادی بر زیرلایه های پلیمری چسبندگی ضعیف لایه نازک سرامیکی شفاف هادی است. به منظور بهبود چسبندگی لایه نازک سرامیکی اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم بر زیرلایه پلی کربنات، عملیات پلاسما اچینگ در توان و نسبتهای مختلف گازهای اکسیژن و آرگون انجام شد. سپس عملیات لایه نشانی لایه نازک اکسید روی آلائیده شده بر نمونه های پلیمری پلی کربنات توسط روش کندوپاش مگنترونی انجام شد. چسبندگی لایه نازک اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم بر زیرلایه پلیمری توسط تست نوار چسب ارزیابی شد. برای بررسی گروه های عاملی ایجاد شده در سطح پلیمر بر اثر عملیات پلاسما اچینگ از سطح نمونه ها طیف ATR-FTIR تهیه شد. خواص الکترواپتیکی لایه نازک اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم بوسیله تکنیک های طیف سنجی نوری و پروب چهار نقطه ای اندازه گیری شد .نتایج نشان داد بهترین چسبندگی لایه نازک اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم بر زیرلایه پلیمری در توان W/cm2 2 و مخلوط گاز Ar /O2 با نسبت 90:10 بدست آمد. همچنین میزان تراگسیل متوسط لایه نازک اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم 85 % و مقاومت الکتریکی سطحی آن حدود Ω/sq 165 اندازه گیری شد.

کلیدواژه ها:

پلی کربنات ، عملیات پلاسما اچینگ ، لایه نازک ، اکسید روی آلائیده شده با آلومینیوم ، خواص الکترواپتیکی