بررسی اثر فشار گاز پراکنش بر روی خواص ساختاری و الکترونوری لایه های نازک اکسید ایندیم وقلع (ITO) ساخته شده روی زیر لایه پلی ایمید انعطاف پذیر

سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,360

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC86_256

تاریخ نمایه سازی: 20 دی 1385

چکیده مقاله:

در این مقاله اثر فشار گاز پراکنشی آرگون 22-42) میلی تور ) بر روی خواص ساختاری ، الکتریکی و نوری لایه های نازک اکسید ایندیم و قلع (ITO) که با روش پراکنش RF و در دمای اتاق بر روی زیرلایه های انعطاف پذیر پلی ایمید کپتون نوع HN نشانده شده اند ، بررسی شده است . آنالیز XRD نشان می دهد در فشارهای پایین جهت ترجیحی لایه <111> می باشد و با افزایش فشار جهت ترجیحی به <١٠٠> متمایل می شود که این رفتار با توجه به انرژی ذرات رسیده به زیرلایه و همچنین تحرک اتمهای روی سطح زیرلایه تحلیل شده است . تغییرات عبور و رسانایی لایه ها نیز بر اساس محتوای اکسیژن لایه ها و میزان تبلور آنها بررسی و تحلیل شده است . فشار بهینه که در آن میان رسانایی بالا و عبور بالا سازگاری خوبی برقرار است 32 میلی تور به دست آمده است .

نویسندگان

مسعود ایرج

مجتمع تحقیقاتی لایه های نازک ،دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه تهران

علی محمدی قیداری

پژوهشگاه مواد و انرژی ، کرج

ابراهیم اصل سلیمانی

مجتمع تحقیقاتی لایه های نازک ،دانشکده برق و کامپیوتر، دانشگاه تهران

منصور منصور حسینی

گروه فیزیک ، دانشگاه تربیت معلم تهران ، خیابان مفتح ، تهران