بررسی اثر فشار گاز پراکنش بر روی خواص ساختاری و الکترونوری لایه های نازک اکسید ایندیم وقلع (ITO) ساخته شده روی زیر لایه پلی ایمید انعطاف پذیر

در این مقاله اثر فشار گاز پراکنشی آرگون 22-42) میلی تور ) بر روی خواص ساختاری ، الکتریکی و نوری لایه های نازک اکسید ایندیم و قلع (ITO) که با روش پراکنش RF و در دمای اتاق بر روی زیرلایه های انعطاف پذیر پلی ایمید کپتون نوع HN نشانده شده اند ، بررسی شده است . آنالیز XRD نشان می دهد در فشارهای پایین جهت ترجیحی لایه <111> می باشد و با افزایش فشار جهت ترجیحی به <١٠٠> متمایل می شود که این رفتار با توجه به انرژی ذرات رسیده به زیرلایه و همچنین تحرک اتمهای روی سطح زیرلایه تحلیل شده است . تغییرات عبور و رسانایی لایه ها نیز بر اساس محتوای اکسیژن لایه ها و میزان تبلور آنها بررسی و تحلیل شده است . فشار بهینه که در آن میان رسانایی بالا و عبور بالا سازگاری خوبی برقرار است 32 میلی تور به دست آمده است .