ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

لیتوگرافی تداخل لیزری: شبیه سازی و نتایج تجربی

سال انتشار: 1392
کد COI مقاله: NCOLE03_096
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 890
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 5 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله لیتوگرافی تداخل لیزری: شبیه سازی و نتایج تجربی

محمدباقر محمدنژاد زنجانی - سنندج، دانشگاه کردستان، دانشکده علوم، گروه فیزیک
عبدالله حسن زاده - سنندج، دانشگاه کردستان، دانشکده علوم، گروه فیزیک
سیلویا میتلر - گروه فیزیک، دانشگاه وسترن، لندن، انتاریو، کانادا

چکیده مقاله:

چندین روش برای ساخت نانوساختارها روی زیر لایه جامد وجود دارد. مانند باریکه یونی کانونی شده (FIB) ، لیتوگرافی تداخل لیزری (LIL) و لیتوگرافی باریکه الکترونی (EBL) روش های FIB و EBL بسیار دقیق هستند و می توانند برای ساخت نقش ها در ابعاد نانو استفاده شوند. اما آنها بسیار پرهزینه و وقت گیر هستند. به هرجهت روش LIL خیلی سریع و ارزان است به علاوه LIL میتواند برای ساخت نانوساختارها در ناحیه های بزرگ استفاده شود. در این مقاله ما با استفاده از برنامه های متلب، نقش های حاصل از تداخل دو یا چند باریکه لیزری روی زیرلایههای پوشیده شده با یکلایه فتورزیست را شبیه سازی کردیم. چندین نقش برای مقایسه نتایج آزمایشگاهی با نتایج شبیه سازی ساخته شدند.نتایج شبیه سازی تطابق خوبی با خروجی های آزمایشگاهی دارند. نتایج نشان می دهند که با افزایش تعداد پرتودهی هانقش های حاصل شبیه حلقه های هم مرکزی میشوند که اختلاف بین شعاع دو حلقه مجاور برای تمام حلقهها یکسان است.

کلیدواژه ها:

آینه لوید،لیتوگرافی تداخل لیزری،نانو نقشهای دورهای

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا NCOLE03_096 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/223800/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
محمدنژاد زنجانی، محمدباقر و حسن زاده، عبدالله و میتلر، سیلویا،1392،لیتوگرافی تداخل لیزری: شبیه سازی و نتایج تجربی،سومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیرز ایران،اصفهان،،،https://civilica.com/doc/223800

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1392، محمدنژاد زنجانی، محمدباقر؛ عبدالله حسن زاده و سیلویا میتلر)
برای بار دوم به بعد: (1392، محمدنژاد زنجانی؛ حسن زاده و میتلر)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Zhang, X., Liu, S., Liu, Y., Laser interference lithography for ...
  • Joannopoulos, J. D, photonic crystals: modeling the flow of light, ...
  • Geldhauser, T., Leiderer, P, Boneberg, J., Generation of Surface Energy ...
  • Lorens, M. Zabila, Y., Micropattern ing of Silicon Surface by ...
  • Paivanranta, B., Baroni, P..Scharf, T., Nakagawa, W., Kuittinen, M., Hrzig, ...
  • Nanostructured Surface Fabricated by Laser Interference Lithography to Attenuate The ...
  • Xie, Q., Hong, M.H., Tan, H.L, Chen, G.H., Shi, L.P., ...
  • Hetch, E., Optics, Addison Wesley, 2002. ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 4,965
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی