آزمون سطوح اپتیکی با توان تفکیک فضایی بالاتر از حسگر شیک- هارتمن با استفاده از معادله انتقال شدت

آزمون سطوح اپتیکی برای بسیاری از کاربردها، به ویژه برای تولیدکنندگان قطعات اپتیکی دارای اهمیت زیادی است .بسته به توانایی روشهای مختلف آزمون سطوح، برای سطوح با پارامترهای اپتیکی مختلف، از روش ها خاصی استفاده می گردد. توزیع فاز را می توان با استفاده از حل معادله انتقال شدت (TIE) و با اندازه گیری توزیع شدت در نقاط مختلف محور اپتیکی بدست آورد. روش TIE جایگزینی کارآ برای روشهای تداخل سنجی در شرایطی که آن روشها قابل استفاده نیستند است. در این مقاله به طور تجربی نشان داده ایم که با چیدمانی ساده می توان سطوح اپتیکی عبوری را با استفاده از TIE و با توان تفکیک بالاتر از آنچه روش حسگر شیک- هارتمن به دست می دهد آزمود. یک چیدمان برای هر دو روش TIE و شیک- هارتمن استفاده شده و برای سطح اپتیکی دارای ابیراهی نتایج باهم مقایسه شده اند. با تحلیل اطلاعات بدست آمده همخوانی نتایج دو روش ، و توان تفکیک بالاتر روش TIE نشان داده شده اند.

کلیدواژه ها:

آزمون سطوح اپتیکی ، معادله انتقال شدت ، حسگر شیک- هارتمن ، توان تفکیک فضایی