طراحی و ساخت ریزمنشور با زاویه راس بزرگ به وسیله ماسک باینری

یکی از روش های ساخت قطعات میکرواپتیکی ، استفاده از ماسک تولید شده از برهمنهی چند توری پراشی دامنه ایاست. با استفاد از این روش ریزمنشورهایی با زاویه راس حداکثر یک درجه ساخته می شود. این مقاله به بررسیروش های کنترل زاویه ریزمنشور و ارائه روشی برای ساخت ماسک های تولید کننده ریزمنشورها با زاویه راس بزرگ بهوسیله لیتوگرافی با ماسک، پرداخته است.در نتایج شبیه سازی و تجربی مشاهده شد که با افزایش نرخ رشد سطوحخاکستری در ماسک (کم شدن تعداد پالس ها) و کاهش گام، توزیع شدت با شیب بیشتری در پشت ماسک تولید شدهو در نتیجه ریزمنشور بازاویه بیشتری تولید می شود. درنهایت با استفاده از نتایج بدست آمده چند نمونه ماسک برایتولید ریزمنشور با زاویه راس بزرگ طراحی و در اتاق تمیز ساخته شد. بالیتوگرافی به وسیله این ماسک ها بر روی ماده نورمقاوم ریز منشورهایی با زاویه راس بزرگ (تا 10 درجه)ساخته شد. این مقاله روشی برای ساخت ریزمنشور با زاویه راس بزرگ به وسیله لیتوگرافی با ماسک تولید شده از برهمنهی چند توری پراشی دامنه ای ارایه داده است، درحالی که تاکنون ساخت ریزمنشورهایی بازاویه راس حدکثر 1 درجه با این روش امکان پذیر بود.

کلیدواژه ها:

پراش ، قطعات میکرو اپتیک ، ماسک باینری ، لیتوگرافی