بهینه سازی لایه های نازک ضد بازتاب لیزر Nd : YAG با استفاده از امواج حاصل از تابش لیزر به روش Laser Shock Peening و بررسی آستانه تخریب آن

در این مقاله ، لایه های نازک ضد بازتاب از مواد ZrO2 و SiO2 بر روی زیرلایه BK7 به روش تبخیر فیزیکی در خلاء با استفاده از باریکه الکترونی لایه نشانی شدند. سپس به منظور بهبود خواص فیزیکی و نوری نمونه های تهیه شده از روش ضربه زدن با امواج آکوستیکی تولید شده توسط لیزر (Laser Shock Peening) بر روی آن ها، توسط لیزر اگزایمر آرگون فلوراید با طول موج 193 نانو متر، بسامد 1Hz و انرژی های 110mJ و 240mJ با تعداد پالس های مختلف استفاده شده و آستانه تخریب القایی لیزری آنها اندازه گیری گردید. اثرات روش LSP و آستانه تخریب القایی لیزر توسط طیف سنج نوری ومیکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) قبل و بعد از روش LSP بررسی شد. با استفا ده از این روش، افزایش آستانه تخریب القایی لیزر از (j/cm2) 12 به (j/cm2) 17 مشاهده گردید.