مطالعه عوامل موثر بر عملکرد رزوناتور میکروتیر

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,166

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

THINFILM01_017

تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392

چکیده مقاله:

مشخصه های خروجی رزوناتور میکروالکترومکانیکی (MEMS) به پارامترهایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به کار رفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیر (مدل الکترو استاتیک) تشریح شده است و تاثیر پارامترهای مختلف بر ضریب کیفیت و فرکانس رزونانس به روش تحلیلی و شبیه سازی نشان داده و مقایسه شده اند.با استفاده از این نتایج میتوان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

نویسندگان

عقیل موسوی

دانشجوی کارشناسی ارشددانشکده ی مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،مازندران، ایران.

بهرام عزیزا... گنجی

استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر،دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران.